Màng lỗ hạt nhân Là kết quả của việc các hạt mang điện nặng va chạm vào vật liệu cách điện và tạo lỗ, sau đó được mở rộng bằng phương pháp ăn mòn hóa học. Khi quỹ đạo của các hạt mang điện nặng trong màng cách điện vượt quá độ dày của màng, tổn thương bức xạ hình thành trên mỗi đường đi của các hạt va chạm thẳng đứng có thể được ăn mòn chọn lọc bằng phương pháp hóa học để tạo ra các kênh xuyên qua màng cách điện (lỗ vi). Màng cách điện có một hoặc nhiều lỗ vi xuyên như vậy được gọi là màng lỗ nhân. Có hai loại hạt mang điện nặng được sử dụng để sản xuất màng lỗ nhân: một loại là chùm hạt mang điện nặng phát ra từ máy gia tốc ion nặng, loại kia là các mảnh vỡ phân hạch, có thể được tạo ra khi mục tiêu phân hạch được đặt trong luồng neutron của lò phản ứng hạt nhân.
